MSD係列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要（yào）特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸（shū）出儲能元件，
同時提高了抑製打火及重（chóng）啟速（sù）度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率（lǜ）模式相對於傳統的恒流模式，
更能保（bǎo）證鍍膜工藝（yì）的重複性。
  C 具（jù）有理想的電壓陡降特性（xìng），自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控（kòng）濺射工藝（yì）過程的連續性。
  D 可選擇手動控（kòng）製/模擬量接口控（kòng）製，可（kě）選（xuǎn）配RS485通（tōng）訊接口。
  E 專門（mén）為試驗（yàn）型真空設（shè）備定製，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客（kè）戶減小電（diàn）源體積和降低成（chéng）本
采用先進的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功（gōng）率開關器件，
體積（jī）小、重量輕、功能全（quán）、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該係列產品采用（yòng）先進的DSP控製係統，充（chōng）分保證鍍（dù）膜（mó）工藝（yì）的重複性（xìng），
並且（qiě）具（jù）有抑製（zhì）靶材（cái）弧光放電及抗短路（lù）功能，
具有（yǒu）極佳的負載匹配能力，既保證了靶麵清洗工藝的穩定性，又提（tí）高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大範（fàn）圍連續調節；
方便維（wéi）護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實（shí）現（xiàn）自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種（zhǒng）金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程（chéng）中，真空（kōng）鍍膜機就出現過不少故障，其中高（gāo）壓電源部（bù）分的故（gù）障較多，也比較複（fù）雜，下麵就幾種典型的故障進行分析。

1、增（zēng）加電子束（shù）流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在（zài）正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處（chù）於飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候，柵（shān）極（jí）得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩（wěn）壓管（guǎn）擊穿導通。在不正常的情況下，增加束（shù）流時（shí），由於束斑的位（wèi）置不在中心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍（dù）的材料被打穿等原（yuán）因，都會出現高壓無指示。這是由於高壓輸出被近似（sì）短路，造成電子束流大於預定的值（zhí），主開關管處於截止狀態，承（chéng）受全部（bù）的高壓，讓高壓無法輸出。由於（yú）打火而造（zào）成束流過大的時候（hòu），在電流檢測電路時取得的過（guò）流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情況下，即使有束流高壓指示也（yě）應該（gāi）是穩定（dìng）的，無（wú）束（shù）流時高壓指示不穩定，高壓表（biǎo）指針（zhēn）就會來回的擺動，這就是不正（zhèng）常情況。從原理上分析，高壓電源（yuán）和（hé）負載（zǎi）有問（wèn）題（tí）都會出現這種現象。為了便於排查，先將高壓電（diàn）源和負載分開，如果問題還在（zài），就證明問題不（bú）在負載那方麵，而是在高壓電源那方麵，高壓電源（yuán）是由高壓部分和自動電（diàn）源（yuán）的主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁（fán）的擺動，就是高壓出現（xiàn）連續性的過流打火，自動複位部分就（jiù）開始運行，使（shǐ）得高壓電源的主開（kāi）關（guān）管始終處（chù）在切斷（duàn）和導通這兩種（zhǒng）狀（zhuàng）態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的修理過程中發現（xiàn），有時會出現這種故障並不是由（yóu）於高壓電源（yuán）內部（bù）的原因，而是真（zhēn）空室內有汙染，因（yīn）為設備（bèi）使用（yòng）了很多年，鍾罩內（nèi）壁上（shàng）聚集（jí）了許多蒸鍍的（de）材（cái）料（liào）。在有束流的情（qíng）況下，會產（chǎn）生二次、三次電子，從（cóng）而產生較大的假束流，使得主開（kāi）關（guān）管不停的導通和截止，高壓指（zhǐ）示就不穩定了。消除這種故障，可（kě）先將（jiāng）電子槍、坩鍋、高壓（yā）電極進行徹（chè）底地清洗（xǐ），如味故障還沒有補消除，再將（jiāng）鍾罩內所有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除（chú），高壓指（zhǐ）示就不會在頻繁的擺動（dòng）了。