射頻、直流和脈衝直流電源選(xuǎn)擇:客戶可(kě)根據(jù)自身工(gōng)藝特點選擇不同類型的等離子(zǐ)電源。Advanced Energy 提供射頻、直流和脈衝直流等多種類型的等離子電源(yuán)產品,其脈衝和直流電源係(xì)統可在極端(duān)電弧條件下提供穩定的功率輸送,適用於高度可重複的薄膜沉積工藝。
阻抗匹配(pèi)網絡定製:等離子電源的阻抗匹配網絡可以根據電源和負載的特性進行(háng)定製,以(yǐ)確保從電源至等離子體(tǐ)的最佳穩定(dìng)功率傳輸。通快(kuài)霍廷格的 TruPlasma Match 1000 (G2/13) 係列阻抗匹配器可作為電源(yuán)與工藝流(liú)程間的鏈節(jiē),與電源準確協調,實現最佳(jiā)的(de)阻抗適配。
集成係統定製:將(jiāng)等(děng)離子電(diàn)源與(yǔ)其他相關設備集成在一起,形成定製化的解決方案。Advanced Energy 的集成係統將各種產(chǎn)品組合在一起,為(wéi)不同行業的等離子體工藝提供了(le)定製化的整體解決方案,確保工藝質量的一致性和提高生產效率。