| 無法啟動 | 1. 主電源未接通或電壓異常 | 1. 檢查供電線路（空氣開關、插座），確認電壓符合設備額定值（如 380V/220V） |
| 2. 保險管 / 熔斷器燒（shāo）毀 | 2. 斷（duàn）電後（hòu）更換同規格保險管（需確認無短路後再更（gèng）換，避免再次燒毀（huǐ）） |
| 3. 控製信號（如觸發信號、遠程控製（zhì））未輸入 | 3. 檢（jiǎn）查控（kòng）製線路（PLC 或手動控製器連接），確保信號電（diàn）壓 / 電流符（fú）合設備（bèi）要求（如 0-10V 模擬量） |
| 4. 電源內部（bù）接觸器或繼（jì）電器故障 | 4. 聯係廠家（jiā）維（wéi）修（xiū）或更（gèng）換接觸器 / 繼電器（需專業人員操作） |
| 輸出電壓 / 電流（liú）不穩定（dìng） | 1. 輸入電壓波動過大 | 1. 加（jiā）裝穩壓器穩定供電；檢查電（diàn）網是否有其他大功率設（shè）備幹擾 |
| 2. 連接線路接觸不良（如電纜（lǎn）接頭鬆（sōng）動） | 2. 斷電後重新緊固電纜接頭（尤其是靶（bǎ）材、電極連接線），清潔接頭氧化層 |
| 3. 真（zhēn）空度不穩定（真空室漏氣或真空泵故（gù）障） | 3. 檢查真空室密封件（O 型圈），修複漏氣點；維護真空泵（換油、清理過濾器） |
| 4. 電源內部電（diàn）壓反饋電路故障 | 4. 由廠家校準反饋電路或（huò）更（gèng）換損壞元件 |
| 過（guò）流保護頻繁觸（chù）發 | 1. 靶材與真空室短路（靶材變形、碎屑搭橋（qiáo）） | 1. 停機後檢查靶材，清（qīng）理碎屑；更換變形靶材，確保靶材與腔（qiāng）體絕緣 |
| 2. 真空度不足（低於工藝要求） | 2. 延長（zhǎng）抽真空時間，檢查真（zhēn）空泵性能；修複（fù）漏氣點，確保真空度≥1×10⁻³Pa（視工藝而定） |
| 3. 電源輸出參（cān）數設置過高（如電流超（chāo）限） | 3. 降低輸出電流 / 功率至額定範圍，重新設置參數並保存 |
| 4. 過流保護電（diàn）路誤動作（元件老（lǎo）化） | 4. 更（gèng）換老化的保護電（diàn）路元件（如電流傳感器、比較器） |
| 電弧放電頻繁 | 1. 真空度（dù）偏低或氣體流量（liàng）不穩定 | 1. 提高（gāo）真空度至工（gōng）藝標（biāo）準；檢查（chá）氣體流量計、閥門，確保流量穩定（如氬氣流量（liàng） 50-200sccm） |
| 2. 靶材表麵汙染（氧化、油汙） | 2. 清潔靶材表麵（酒（jiǔ）精擦拭），或進行預濺射（低功率轟擊（jī） 10-20 分鍾（zhōng）） |
| 3. 電（diàn）源弧（hú）抑製參數（shù）設（shè）置不當 | 3. 調整脈衝（chōng）電源的弧（hú）抑製時間（通常 0.1-10μs）和熄弧電流，增強滅弧能力 |
| 4. 基（jī）底與靶材距離過近 | 4. 調整工裝，增大基底與（yǔ）靶材（cái）間距（通常 50-200mm，視鍍膜類型而定） |
| 無輸出功（gōng）率 | 1. 控製板故障（無觸發信號輸出） | 1. 檢查控製板指示（shì）燈，更換損壞的控製板或修複觸發電路 |
| 2. 功率模塊損壞（如 IGBT、晶閘（zhá）管燒毀） | 2. 檢測功率模塊（kuài）導通性，更換同型號模（mó）塊（kuài）（需專業人員操作，避（bì）免靜電損壞） |
| 3. 反饋信號中斷（如電（diàn）壓 / 電流傳感器故障） | 3. 檢查傳感器接線，更換故障傳感器 |
| 顯（xiǎn）示異常（亂（luàn）碼 / 無顯示） | 1. 顯示屏損壞或排線鬆動 | 1. 重新（xīn）插拔（bá）顯示屏排線；更換顯示屏 |
| 2. 主控（kòng）板程序出錯或供電異（yì）常 | 2. 重啟電源複位程序（xù）；檢查主控板供電電壓（通常 5V/12V），修複供電電路 |
您的位置：
