偏壓電源（yuán）類型

脈衝偏（piān）壓電源是真空電弧離子鍍和磁（cí）控濺射鍍膜或（huò）其他真空物理氣相沉積設備的重要組（zǔ）成部分，對於不同的鍍膜工藝，偏壓電源也分（fèn）為不同的類型

根據波形可以分為：

一、直流（liú）偏壓電（diàn）源

二、直流脈衝偏置

主要特點

1.高頻單極脈衝對工件施加偏壓，與直流偏壓相比，由於電壓中斷間隙的存在，可（kě）以有效（xiào）減少點火次數，保護工件表麵。

2.在脈衝間隙期間，可以中和（hé）工（gōng）件表麵積聚的電荷（hé），從（cóng）而減少（shǎo）表麵電荷積聚引起的點火。

3.高頻逆變器技術的快速關斷能力可以有（yǒu）效地減少每個火花（huā）釋放的能量，即使在火花出現時（shí），也可以顯著降低工件表麵的大損（sǔn）傷程度。

4.在脈衝（chōng）間隙期間（jiān）沉積到工件表麵的離子能量非（fēi）常（cháng）低。

5.可以通過調節頻率和占空比來提高和控製成膜速度和質量。

三（sān）、直流疊加脈衝偏置

主要特點

1.具有單極脈衝偏（piān）置電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加脈衝模式下，消除了單極（jí）脈衝間隙之間（jiān）離子（zǐ）能（néng）量低（dī）的問題。

四、雙極脈衝偏置

主要特（tè）點

1.負（fù）脈衝的作用與單極脈衝偏（piān）置電源相同，正脈衝的作用主要是吸引等離子體中的電子，以中和工件表麵正電荷的積累。因為電子（zǐ）的質量（liàng）比離子的質量小得多，加速很容易，所以正脈衝的振幅比負脈衝的振幅小得多（duō）——通常為10~100V，正負（fù）脈衝的電（diàn）流積分應該相等。因此，正電源的功（gōng）率遠小（xiǎo）於負電源（yuán）的功率。

2.當正電（diàn）源電壓為零時，雙極脈衝偏（piān）壓變為單極脈衝偏壓。