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真空鍍膜有蒸發鍍膜、濺(jiàn)射鍍膜和離子鍍膜三種形式:當濺射鍍(dù)膜(mó)用高能粒子轟擊固體表麵時,可以獲得固體表麵(miàn)的粒子。能(néng)量從(cóng)表麵逸出並沉積在基板上;離子鍍蒸發物質的分子通過電子撞(zhuàng)擊(jī)被電離,並以離子(zǐ)的形式沉積在固體表麵。
所有三種形式的真空鍍膜技術都(dōu)需要快速(sù)冷卻裝置(zhì)來輔助真空鍍膜過程。由於工件在(zài)鍍膜過程中處於封閉的真空環境中(zhōng),真空設備失去了很多產品技術和性能。現有的真空鍍膜設備也有冷卻裝置,但其冷卻(què)效果不是很理想。

不能滿足人們的需要,為彌補現有技術的不足,真空鍍膜電源廠家提(tí)供一種真空鍍膜設備手套箱(xiāng)蒸發一體機。該係統集成了真空鍍膜係統和(hé)手套箱(xiāng)係統,可在高真空蒸發室中完成(chéng)薄膜蒸發。樣品在手套箱中的高純度惰性氣體氣氛下(xià)蒸發(fā)後(hòu)儲存、製備和測試。為保證塗層產品(pǐn)工藝和(hé)性(xìng)能質量(liàng)要求而設置的快速冷卻係統,可實現(xiàn)快速冷卻自動控製的目的。
蒸發鍍(dù)膜與手套箱相結合,實現了蒸發、封裝、測試等過程的全封閉生(shēng)產,使整個薄膜生長和器件(jiàn)製備過程高度(dù)集成在一個環境氣氛可控的完整係統(tǒng)中,無需(xū)有(yǒu)機大-區域電路準備。大氣環境中不穩定因素(sù)的影響,保證了高性能、大麵積有(yǒu)機光電器件和電路的製備。
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