離子源電（diàn）源的工作原理主要是基於氣體放電（diàn）原理。當（dāng）氣體在離子源（yuán）的陽極（jí）和陰極（jí）之間通過（guò）時，其陽極的正電（diàn）壓與內外陰極兩端之間施加的強磁場相互作用（yòng），產生等離子體。等離子體中的離子受到陽極電場的驅動，導致離子（zǐ）源產生離子束射流。此外，不同類（lèi）型的離子（zǐ）源（yuán），如高